CVD氣源發生器

產品簡介
CVD氣源發生器，設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。

Name: CVD氣源發生器
Brand: 其他品牌
Availability: InStock

更新時間：2025-05-13

廠商性質：生產廠家

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發生器

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設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。液態前驅體經過蒸發段氣化，隨后調溫輸出。輸出組分進一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態原料。前驅體接觸的材質均采用耐腐蝕材料。

例

PLC控制系統，Ethernet通訊，與CVD生產線主控系統通訊。

含錫前驅體	≤60	sccm
含氟前驅體	≤20	sccm
H2O	≤60	sccm
功率	7.5	kW

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CVD氣源發生器，設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。

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